低电阻率n型白刚玉的制备是世界前沿难题。为了减小氧离子注入对白刚玉晶格损伤，提高其电学性能。我们提出硼氧共掺杂方法制备n型白刚玉。设计了三种硼氧共掺杂方式，即硼氧离子共注入本征白刚玉(BO系列)、氧离子注入低硼白刚玉(LBO系列)和氧离子注入高硼白刚玉(HBO系列)，系统不同注入剂量和退火温度对白刚玉微结构和电学性能的影响。SEM测试结果表明，BO系列样品在高温退火后，的晶粒取向由(110)转变为(111)，且的粗糙度降低。